Cassette đỡ wafer kim loại 12 inch – 25 khe dùng cho sản xuất wafer bán dẫn

Custom Special Shape 12 Inch 25 Slot Metal Wafer Carrier Cassette là dòng cassette kim loại cao cấp dùng trong sản xuất wafer bán dẫn, được thiết kế cho độ chính xác cao, độ bền vượt trội và khả năng chịu nhiệt cao, phù hợp cho các công đoạn xử lý wafer từ công đoạn này sang công đoạn khác trong nhà máy bán dẫn.

Sản phẩm cung cấp khả năng nâng đỡ, lưu trữ và vận chuyển wafer an toàn, đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về cơ khí, nhiệt độ và độ ổn định hình học.

---

🔹 Đặc điểm nổi bật

• Thiết kế khung kim loại chắc chắn, bảo vệ wafer khỏi va đập và biến dạng

• Chống tĩnh điện, cấu trúc kín giúp bảo vệ wafer tối ưu

• Nhẹ hơn FOUP, phù hợp cho các quá trình gia nhiệt

• Xử lý bằng robot hoặc nạp đẩy thủ công

• Có thể khắc laser theo yêu cầu và tích hợp RFID để truy xuất nguồn gốc trong sản xuất

• Phù hợp cho process-to-process transfer (không dùng cho quá trình hóa chất)

---

🧪 Thông số kỹ thuật chính

• Loại wafer: 12 inch (300 mm)

• Số khe (Slot): 25 khe (tùy chọn 12 khe)

• Khoảng cách khe khởi điểm: 16.5 mm

• Nhiệt độ bake tối đa: 450°C

• Thanh H (H-Bar): Có

• Phương thức nạp wafer: Robot / Push transfer

• Vật liệu chế tạo:

  • Thép không gỉ 316L (phiên bản chịu nhiệt cao)

  • Nhôm 7075 (phiên bản nhẹ, gia công chính xác)

• Công nghệ gia công: Gia công chính xác CNC / Oxy hóa cứng (Hard anodizing)

• Kích thước sản phẩm: 339 (L) × 319 (W) × 315.1 (H) mm

• Dung lượng: 25 wafer

---

🔥 Khả năng chịu nhiệt & ăn mòn

• Thép không gỉ 316L chịu được nhiệt độ lên đến 760°C

• Nhiệt độ vận hành liên tục khuyến nghị: ≤ 500°C (không biến dạng)

• Khả năng chống ăn mòn vượt trội, kháng nhiều loại hóa chất và dung môi công nghiệp như:

  • Muối natri, canxi

  • Dung dịch hypochlorite

  • Axit photphoric, dung dịch sulfite, axit sulfurous

---

⚙️ Ứng dụng

• Sản xuất wafer bán dẫn 300 mm

• Quy trình epitaxy, annealing, curing, polyimide bake, BCB cure

• Sản xuất chip bán dẫn, chip epitaxial, wafer năng lượng mặt trời

• Dây chuyền sản xuất bán dẫn tự động (tuân thủ SEMI 300mm automation)

---

🎯 Ưu điểm so với cassette nhựa

• Ổn định hình học cao hơn ở nhiệt độ cao

• Bền, chống mài mòn

• Phù hợp môi trường sản xuất chính xác

• Tuổi thọ sử dụng lâu dài

Đơn vị cung cấp tại Việt Nam

Công ty TNHH Bluezeiz Mnf Việt Nam
📞 Tel: 0981 376 608
📧 Email: bluezeiz.vietnam@gmail.com